玻璃屬于硬脆材料,很早以前就被用于我們的日常生活中。近年來,隨著IT產(chǎn)業(yè)的發(fā)達(dá),玻璃作為光學(xué)器件的結(jié)構(gòu)材料,其需求量不斷增加。此外,在材料開發(fā)、醫(yī)療、制藥、環(huán)保等各個(gè)領(lǐng)域,玻璃作為檢查基板的制作材料,其用量也越來越大。這些構(gòu)件所需玻璃制品的生產(chǎn),可大致分為兩類:平面或曲面加工和微細(xì)形狀加工。前者通過化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)工序,目前已確立了納米級(jí)的高水平表面加工技術(shù)。而對(duì)于后者,由于玻璃具有易碎、易缺損的特性,以前,用機(jī)械方法直接進(jìn)行加工被認(rèn)為十分困難,因此一般是利用氫氟酸進(jìn)行化學(xué)去除法加工。近年來,采用激光、等離子等各種加工方法,也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)軟玻璃的微細(xì)加工。但是,這些加工方法所使用的設(shè)備復(fù)雜,所需費(fèi)用也相當(dāng)高。大家都寄希望于開發(fā)出價(jià)格低廉、操作簡(jiǎn)單的加工方法。
基于這種現(xiàn)狀,近年來,利用機(jī)械加工方法對(duì)玻璃材料進(jìn)行切削試驗(yàn)的研究以及技術(shù)開發(fā)不斷增多。最近,日本的竹內(nèi)教授等人報(bào)告了利用立銑刀對(duì)玻璃進(jìn)行三維形狀加工的研究,其可行性和實(shí)用性值得期待。作者著眼于立銑刀的切削機(jī)理,對(duì)玻璃材料進(jìn)行了10μm以上的溝槽加工試驗(yàn),以考察其切削特性。本文介紹了用球頭立銑刀加工玻璃材料的切削特性及應(yīng)用實(shí)例。
立銑刀對(duì)玻璃的塑性-脆性混合模式切削
從刀具軸對(duì)應(yīng)的垂直斷面內(nèi)的刃口軌跡,以及刃口軌跡與后續(xù)刃口軌跡的干涉曲線模式可以看出,立銑刀在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)由下向上運(yùn)動(dòng),每旋轉(zhuǎn)一次就將切除一部分材料。在這種加工過程中,刃口不斷地切入和切出(脫離)材料。因此,刃口每旋轉(zhuǎn)一次的切削厚度由0增加到最大切削厚度,然后又逐漸減少到0。隨著刀具的移動(dòng),其余部分隨后也被切削。如果玻璃的切削厚度在1μm以下,就會(huì)與金屬一樣生成切屑,在不發(fā)生脆性龜裂的情況下實(shí)現(xiàn)材料的去除。因此,將切削厚度保持在1μm以下,可使加工表面不受到脆性損傷。在實(shí)際加工過程中,由于主軸的振動(dòng)及刀具彎曲的影響,并不能得到理想的切削軌跡。在刃口切入部位和切出部位附近,加工表面的創(chuàng)建機(jī)理也存在同樣的情況。因此,要設(shè)定適當(dāng)?shù)闹鬏S轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度,才能實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的塑性加工。
用球頭立銑刀加工時(shí),切削刃軌跡的旋轉(zhuǎn)半徑隨著刀具軸方向高度的提升而增大。因此,根據(jù)上述機(jī)理,從溝槽底部到溝槽上部形成加工表面時(shí),即使沿軸向的切深較大,加工表面也不會(huì)發(fā)生脆性損傷。但是,刃口底部的旋轉(zhuǎn)半徑過小,切削速度很低。因此,為了提高切削性能,將刀具向進(jìn)給方向傾斜一定角度,以保持一定的切削速度來進(jìn)行加工。
切削特性
選用光學(xué)顯微鏡中觀察標(biāo)本所用的載物玻璃片(材料為無鉛玻璃,成分為:72%SiO2,18%K2CO2,10%CaCO2)進(jìn)行切削試驗(yàn),觀察球頭立銑刀在加工過程中所呈現(xiàn)出的特性。在切削試驗(yàn)中,為了達(dá)到傾斜切削模式,將由無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密主軸朝刀具進(jìn)給方向傾斜45°。在切削試驗(yàn)中,采用了在加工中心主軸頭上安裝工具系統(tǒng)夾持刀具的慣用方法,并將刀具傾斜。試驗(yàn)所用切削刀具為直徑4mm、球頭曲率半徑為0.2mm的硬質(zhì)合金球頭立銑刀,刀具表面涂覆有TiAlN涂層。為了給刃口提供充足的切削液,需將玻璃工件放置在桌上的水槽內(nèi),在水中進(jìn)行切削加工。
在轉(zhuǎn)速80000rpm、進(jìn)給速度0.06mm/min、切深18μm的加工條件下,減采用干式切削和水中切削方式加工出的光學(xué)玻璃表面情況進(jìn)行對(duì)比。刀具由下方進(jìn)給至上方,刃口從左側(cè)切入,右側(cè)切出。結(jié)果顯示,干式切削的加工表面質(zhì)量比濕式切削效果差,在溝槽部可以觀測(cè)到脆性損傷,且切削面不完整,溝槽寬度不穩(wěn)定。與上述試驗(yàn)所用的玻璃材質(zhì)不同,對(duì)經(jīng)過磨削加工的石英玻璃干燥后的試驗(yàn)片和水浸后的試驗(yàn)片的維氏硬度進(jìn)行了比較。在韋布爾概率紙上的比較曲線表明,玻璃在附著水分后,與干燥時(shí)相比,機(jī)械強(qiáng)度有所降低。由此可認(rèn)為,在水中進(jìn)行切削時(shí),由于玻璃的機(jī)械性強(qiáng)度降低,因而可以提高切削性。
球頭立銑刀以0°傾角(即未傾斜)和沿進(jìn)給方向的45°傾角加工光學(xué)玻璃后(切削條件:轉(zhuǎn)速20000rpm,切深0.018mm,進(jìn)給速度0.48mm/min;濕式切削),二者加工表面質(zhì)量的對(duì)比結(jié)果表明,后者可獲得更好的加工效果。球頭立銑刀傾斜切削光學(xué)玻璃時(shí)(切削條件:轉(zhuǎn)速80000rpm,切深0.020mm,進(jìn)給速度0.48mm/min;濕式切削),如果使用雙刃球頭立銑刀進(jìn)行不傾斜加工,一個(gè)刀刃從材料中切出時(shí),另一個(gè)刀刃就開始切入材料。但是,如果將刀具傾斜,在切深小于刀具半徑的情況下,就會(huì)存在切削力為零的情況,即兩個(gè)刀刃均未進(jìn)行加工,材料與刀具沒有接觸,此時(shí)刀具就會(huì)冷卻。此外,由于實(shí)際切削時(shí)間較短,因此切削熱傳入刀具的時(shí)間也較短。如將刀具傾斜,雖然刃口的切削面積增大,但因切削時(shí)間變短,冷卻時(shí)間增加,因此仍然能夠抑制刀具溫度上升。
從主軸轉(zhuǎn)速對(duì)光學(xué)玻璃表面加工質(zhì)量影響的對(duì)比結(jié)果(切削條件:切深0.018mm,每齒進(jìn)給量12nm/齒;濕式切削)可知,當(dāng)轉(zhuǎn)速增加時(shí),刃口切出(脫離工件材料)部位容易發(fā)生脆性損傷,且在40000rpm和80000rpm轉(zhuǎn)速下還可看到切屑粘著現(xiàn)象。從在各轉(zhuǎn)速下進(jìn)行50mm切削加工時(shí)刀具磨損情況的比較可知,在40000rpm和80000rpm轉(zhuǎn)速下,刀具磨損嚴(yán)重,刃口形狀發(fā)生了變化。而在20000rpm轉(zhuǎn)速下,刀具磨損較小,刃口形狀穩(wěn)定。
從在20000rpm轉(zhuǎn)速下,切深為20μm時(shí),采用不同進(jìn)給速度濕切光學(xué)玻璃時(shí)獲得的加工表面可以看出,當(dāng)進(jìn)給速度增加后,溝槽右側(cè)的脆性損傷面積擴(kuò)大。在相同的切削條件下,用FIB切斷順銑一側(cè)和逆銑一側(cè)的加工表面,觀察到的各自斷面情況可知,在順銑一側(cè),沒有觀察到龜裂現(xiàn)象,加工表面情況良好;而在逆銑一側(cè),表層數(shù)微米深度范圍以內(nèi),可以看到沿切削方向有擴(kuò)展的裂紋。因此,用立銑刀對(duì)玻璃進(jìn)行溝槽加工時(shí),采用切削厚度減少的逆銑切削模式容易發(fā)生脆性損傷。
從在各種進(jìn)給速度下,光學(xué)玻璃加工表面粗糙度的變化情況(切削條件:轉(zhuǎn)速20000rpm,切深0.018mm;濕式切削)可知,進(jìn)給速度越小,表面粗糙度越好。但是,當(dāng)進(jìn)給速度小于0.24mm/min時(shí),加工表面質(zhì)量則惡化。在進(jìn)給速度分別為0.06mm/min和0.48mm/min時(shí)獲得的加工表面質(zhì)量對(duì)比情況可知,當(dāng)進(jìn)給速度為0.06mm/min時(shí),加工表面可以看到大面積的劃痕;也就是說,如進(jìn)給速度過小,因刀具的彎曲會(huì)引起漏切,旋轉(zhuǎn)的刃口不能一次性切掉材料,需經(jīng)過數(shù)次切削才能不規(guī)則地將材料去除。因此,如進(jìn)給速度過小,加工效果也不好。
玻璃立銑加工的應(yīng)用
在對(duì)光學(xué)玻璃進(jìn)行深度為20μm(寬度196μm)的縱溝和深度為15μm(寬度152μm)的橫溝所構(gòu)成的直角溝槽加工實(shí)例中,所用刀具為直徑為0.4mm和0.5mm的球頭立銑刀,主軸轉(zhuǎn)速20000rpm,進(jìn)給速度0.48mm/min,濕式切削。制作該產(chǎn)品是為了提高DNA微陣列的檢查精度(相當(dāng)于溝槽加工后剩余面積的10×10個(gè)微表面上將附著定量的DNA,多余的DNA將從溝部溢出)。可以看出,切削后的加工表面沒有脆性損傷,情況良好。
檢查基板所要求的微細(xì)溝槽深度一般在100-200μm左右。如果忽略刀具本身彎曲度的話,在軸向高度上就不能按切削機(jī)理來考慮。因此,要設(shè)定適當(dāng)?shù)那邢鳁l件,即使是進(jìn)行一次切削100μm以上的加工,也可以在不損壞玻璃的情況下實(shí)現(xiàn)加工。
以上介紹了玻璃材料的高效立銑加工實(shí)例。與一般的金屬切削相比,加工玻璃采用的切削進(jìn)給速度相當(dāng)?shù)?。但是,與像劃痕試驗(yàn)的刮削方式等切削加工相比,從可以一次性深切削加工這一點(diǎn)來說,它確實(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)玻璃的高效加工。
以前沒有考慮過能采用立銑刀、以刃口切入切出方式對(duì)玻璃材料進(jìn)行銑削加工,但是,如本文介紹所表明的,只要正確、靈活地采用切削機(jī)理,就可以在不損壞玻璃的前提下實(shí)現(xiàn)其切削加工。
為了提高玻璃立銑加工的實(shí)用性和加工效率,需要注意以下兩點(diǎn):
(1)合理設(shè)計(jì)適用于玻璃切削的立銑刀切削刃形狀。
(2)刀具應(yīng)沿切削進(jìn)給方向保持傾斜姿態(tài),靈活地進(jìn)行各種溝型的加工。
對(duì)于第一點(diǎn),2006年與日立工具共同開發(fā)了8刃球頭立銑刀。對(duì)于第二點(diǎn),在2005-2006年,經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省下屬單位試制了加工機(jī)械,證明了其可行性。今后的課題主要是對(duì)刀具材料(尤其是涂層材料)的研究,以求提高刀具的耐磨損性能。
只要有能使刀具傾斜的設(shè)施條件,本文介紹的切削方法很容易引入機(jī)械加工生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng),不需要使用其他特殊設(shè)備。